ionimplantáció
(ionbeültetés)

Ionok bejuttatása különböző anyagokba elektromágneses térrel nagy sebességre felgyorsítva.
Elsősorban félvezetők előállításakor alkalmazzák.
Például a szilícium lapka meghatározott részeire ilyen módon juttatnak be mondjuk bór- vagy foszforatomokat a megfelelő n- illetve p-típusú rétegek kialakításához.
Alkalmazzák fémek felületi nemesítésére is, pl. nitrogénatomok bejuttatásával az acél nitridálására.

Felhasznált irodalom