Olyan vákuumszivattyú, amelybe egy fúvókán olajat, vagy higanygőzt diffundáltatnak be, ami magával ragadja a gázmolekulákat a tartóedényből, ahol a nyomást csökkenteni akarják. A diffúziós gőz a magával ragadott gázmolekulákkal együtt a szivattyú hűtött falán kondenzál.
A diffúziós szivattyúnak ezzel a kifinomult formájával akár 10-7 Pa nyomás is elérhető.