röntgen fotoelektron spektroszkópia
(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)

A fotoeffektuson alapuló eljárás, a fotoelektron spektroszkópia (PES) egyik módszere.
A vizsgálat során röntgensugarakat alkalmaznak. Az anyag felületét érő sugárzás (foton) hatására az anyagból elektronok lépnek ki, kellően nagy energia esetén akár a belső hélyról is.
A módszer során a kilépő elektronok kinetikus energiáját mérik és a gerjesztő röntgensugár energiájának ismeretében meghatározható az elektron eltávolításához szükséges energia.
Ennek ismeretében magfelelő adatbázisok segítségével (a kapott csúcsokból) meghatározható a vizsgált anyag összetétele. (Minőségi elemzés.)
Az elemenként kilépő elektronok száma (a csúcsok által lefedett terület arányos a jelenlévő elem mennyiségével, ezért a vizsgálat mennyiségi elemzésre is alkalmas.

A vizsgálat során erős vákuumot alkalmaznak, hogy a kilépő elektronok akadálytalanul juthassanak a detektorhoz.

A mérő készülék felépítése Egy palládium minta mérési görbéje

 

 

Nagyon sok helyen alkalmazzák, például a gépipar, elektronikai ipar, gyógszeripar, stb. területén.

Felhasznált irodalom