A fotoeffektuson
alapuló eljárás, a fotoelektron spektroszkópia
(PES) egyik módszere.A vizsgálat során röntgensugarakat alkalmaznak. Az anyag felületét érő sugárzás (foton) hatására az anyagból elektronok lépnek ki, kellően nagy energia esetén akár a belső héjról is.
A módszer során a kilépő elektronok kinetikus energiáját mérik és a gerjesztő röntgensugár energiájának ismeretében meghatározható az elektron eltávolításához szükséges energia.
Ennek ismeretében magfelelő adatbázisok segítségével (a kapott csúcsokból) meghatározható a vizsgált anyag összetétele. (Minőségi elemzés.)
Az elemenként kilépő elektronok száma (a csúcsok által lefedett terület arányos a jelenlévő elem mennyiségével, ezért a vizsgálat mennyiségi elemzésre is alkalmas.
